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中芯国际半导体有机废气处理项目

 

中芯国际(北京)半导体集成电路有限公司,是半导体制作企业,在北京拥有两座先进的300mm芯片厂(B1MegaFab),厂房坐落于北京经济技术开发区。

 

易燃易爆气体储藏间,剧毒间,溶剂间,丙酮储藏间,毒性气体存储间等危废品车间的气体,将通过房顶主管道收集,再经由处理装置进行处理,最后达标排放。

 

我司主要负责楼顶主管路加变径,管道由方变圆,接镀锌螺旋风管,管道接至房顶的VOCs吸附+风机装置,VOCs处理装置前后加手动阀门,风机出口左(右)旋向下45°,加装防虫网。

 

在上述房间发生事故排风时,可远程启动该系统风机,并且开启阀门,气体经VOCs装置处理后达标排放。活性炭吸附装置吸附效率可达90%以上。

 

中芯国际危废品车间事故排风系统改造——活性炭装置

 

中芯国际危废品车间事故排风系统改造——管道

 

中芯国际危废品车间事故排风系统改造——CUB外墙管道

 

中芯国际危废品车间事故排风系统改造——风机出口

 

中芯国际危废品车间事故排风系统改造——全景图

   


 

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